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半导体超高纯特气双套管工艺原理及操作要点

半导体超高纯特气双套管工艺原理及操作要点

发布时间:2021-08-02
半导体及太阳能薄膜工艺会使用到超高纯硅烷SiH4、磷烷PH3,砷烷AsH3、乙硼烷B2H6、六氟化钨WF6、高纯氨NH3等特气,这些气体具有易燃、剧毒、强腐蚀等特性,但同时也是精密半导体电子元器件、新能源光电产品制造的必不可少的重要原料。在生产中若发生气体泄漏,将会造成非常严重的产品质量和人身伤亡事故。所以为确保安全,此类超高纯特气的输送管道采用不锈钢双层管道工艺。该管道施工时,对作业环境洁净度、管道内外管材的洁净度、焊接和安装质量的要求都非常高。本篇就为大家介绍一下超高纯特气双套管的工艺原理和施工操作要点。双套管工艺原理概述:  采用水平15°倾斜摆放姿势进行加工,顺管内介质流向高纯氮气(99.9999%)进行吹扫,不锈钢弹簧填充双层管夹层后用专用弯管装置进行弯管加工,双层管道内外充纯氩(99.9999%)保护的全自动轨道氩弧焊连接和柔性金属垫片端面密封连接,结合氦气检漏的工艺原理,保证内外层管道洁净度、密闭性、弯管质量以及管道焊接安装质量。双套管加工安装操作要点:1. 洁净环境:现场设置三段预制加工洁净区域,建立临时洁净室,要求净化等级不低于9级,确保管件加工的洁净度,进入洁净室的人员必须穿戴洁服、洁净帽、洁净鞋、洁净手套等;2.管道加工:管口的加工是本施工技术的关键点之一,管道切割、预制均在洁净环境进行,同时确保管道切割前表面无有害痕迹、破损。管道开封前应做好管内冲氮的准备工作;3.管道与配件及设备连接安装:对于输送易燃、剧毒特殊气体的双层管道,其与阀门、气表及设备连接采用金属垫片面密封接头(VCR)安装,金属垫片采用柔性镍合金垫片,确保密封严密;4.管道安装:双层管道焊接碰头最后接口处,采用增加末端滑套的安装方式。以上,便是关于半导体超高纯特气双套管工艺的工艺原理和操作要点介绍,双套管工艺对超高纯特气系统建成后能对运行中的人员安全和产品质量起到了很好的基础保障作用。
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